氮化硅发热体是一类重要的高温结构陶瓷，具有热膨胀系数小、硬度大、弹性模量高以及热温度性能、化学稳定性、缘性好等特点，此外它还耐氧化，耐腐蚀等优点使之具有的应用前景。纯的氮化硅在室温时不吸收微波能，近乎微波透明物质，依靠自身的介电损耗来加热。
研究硅氮化物专用陶瓷加热体，通过配方改进、工艺选择、烧结工艺改进，制备了新型氮化硅陶瓷加热体，氮化硅加热体主要具有以下特点：
1.氮化硅发热体具有体积小、重量轻、功率密度高等优点。
2.通过改进成型和烧结工艺，可以制备出可实现任意温度分布的复杂形状氮化硅陶瓷加热器，如圆筒。与传统片状陶瓷加热器相比，具有更高的热效率和抗热震性，大大提高了产品的使用寿命
3.优异的热性能。加热效率98%以上，几秒钟即可达到800-1000℃的高温，可直接加热水、煤气、煤油、金属等介质，无噪音、无污染；
4.氮化硅发热体可靠度高。
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