氮化硅发热体是一类重要的高温结构陶瓷，具有热膨胀系数小、硬度大、弹性模量高以及热温度性能、化学稳定性、缘性好等特点，此外它还耐氧化，耐腐蚀等优点使之具有的应用前景。纯的氮化硅在室温时不吸收微波能，近乎微波透明物质，依靠自身的介电损耗来加热。

氮化硅发热体体小，重量轻，功率密度高。功率>为100W/cm2，远高于普通金属加热体的2-8 W/cm2和普通氮化硅陶瓷加热体的20-80W/cm2。

通过发展成型和烧结技术工艺的改善，可以进行制备出形状比较复杂的实现对于任意一个温度数据分布的氮化硅陶瓷发热体，例如圆柱状。与传统的片状陶瓷发热体相比，有着自己更高的热效率和抗热震性能，产品设计使用寿命大大提高增加；

研究硅氮化物专用陶瓷加热体，通过配方改进、工艺选择、烧结工艺改进，制备了新型氮化硅陶瓷加热体，氮化硅加热体主要具有以下特点：

1.氮化硅发热体具有体积小、重量轻、功率密度高等优点。

2.通过改进成型和烧结工艺，可以制备出可实现任意温度分布的复杂形状氮化硅陶瓷加热器，如圆筒。与传统片状陶瓷加热器相比，具有更高的热效率和抗热震性，大大提高了产品的使用寿命

3.优异的热性能。加热效率98%以上，几秒钟即可达到800-1000℃的高温，可直接加热水、煤气、煤油、金属等介质，无噪音、无污染；

4.氮化硅发热体进行可靠度高。

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